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極低溫高速排氣(Cryo pump) 高真空冷凍幫浦

[抽氣速率8,000(L/sec)的油擴散泵浦或分子泵浦]抽取,約花費16分鐘(min). 若是使用-JR-150-100極低溫高速排氣高真空冷凍幫浦[抽氣速率(200,000L/sec)].

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