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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

按照泵浦其處理被抽氣體的方法可分成兩大類(圖3 為真空幫浦之. 分類)，亦即：. 1. 排氣式：. 此類真空泵浦其作用為將低氣壓處的氣體排送到高氣壓的地方 ...

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