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抽氣幫浦原理
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第二章實驗儀器操作與原理- 2.1 真空系統
torr 以下,達到渦輪旋轉幫浦的工作範圍後,即可啟動渦輪旋轉幫浦,在渦輪旋. 轉幫浦抽氣約4 小時至6 小時後,真空腔內部氣壓即停留在10. -7 torr附近不再下降。
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