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實驗一真空鍍膜系統之認識

（C）抽氣原理. 本實驗室之真空系統之幫浦主要有機械幫浦與擴散幫浦兩種：. 1.機械幫浦（mechanical pump）工作原理. 此種pump 之簡單構造如圖1-1。幫浦內部有一旋轉的 ...

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