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利用高功率脈衝磁控濺鍍製備氮氧化鋁薄膜於抗反射鍍膜之應用

抗反射膜之研究: 利用上述實驗高折射率AlN薄膜、中折射率AlON並搭配低折射率SiO2薄膜設計一廣波域之抗反射薄膜。設計並鍍製2種抗反射多層膜，第一是以AlN及Nb2O5 ...

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