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CTIMES- 剖析電容式MEMS麥克風技術設計
本文旨在提出工研院南分院微系統中心MEMS麥克風之結構與利用標準IC製程製作,使得麥克風與電路IC可以成為SOC的整合晶片設計,可達到數位及陣列化之未來 ...
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