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微系統類LIGA 製程光刻技術 - 儀科中心

光刻技術作通盤性的介紹，內容涵括標準X-ray LIGA 製程、類LIGA 製程的厚膜光阻UV ... N 負光阻，進行第三道微影定義元件結構圖案； ... 促進微系統技術的成熟與應用。

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