47 35.07 51.93 Si 含量( % )质量分数( % )摩尔分数( % )晶体结构晶格常数/ nm 25 ... 薄膜的电阻率表 3.3.11 直流等离濺射 C - Si 薄膜的性能成膜方式= 0 时膜电阻率/ ...
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