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以廣義高斯常數使用於深紫外光學微影之成像與照明系統設計
此研究之成果之一為某一0.4 數值孔徑之極紫外光刻機之反射式成像光學系統之分析與設計,以及其照明光學系統之分析與設計。設計過程中所用之光學設計軟體中包含市售光學 ...
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