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懸浮技術
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懸浮結構應用於紅外線感測器之設計與製作
微機電(MEMS)領域中,紅外線感測器具有非常高的發展潛力與應用價值。微機電系統若以矽微加工技術實現,可分為體塊微加工技術和表面微加工技術,其中表面微加工技術和 ...
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