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FSM 薄膜應力量測設備-勤友企業股份有限公司

設備介紹內容： 應力量測之目的 當薄膜沉積於不同熱膨脹係數(coefficients of thermal expansion, CTE)材料時，就會生成薄膜應力(Film stress)，此應力將影響薄膜附著 ...

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