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微型甲醛氣體感測器之製作與應用

氣體感測器具有極高之氣體選擇性。 關鍵字：甲醛, 微機電, 微型加熱板, NiO 薄膜。 1. 前言. 十八世紀是工業開始發展的年代，由於工業的發. 展，改變了人類生活的 ...

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