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壓力感測器之模擬分析與元件設計

電容式壓力感測器主要是利用平行電容板的原理，當感測器上隔膜受壓力而變形時，其隔膜與底板電極間的間隙改變而造成電容的變化，藉由電容的變化便能夠感測壓力的大小。圖1 ...

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