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感應耦合電漿蝕刻 - 矽碁科技股份有限公司

感應耦合電漿 （ICP）蝕刻是在標準反應離子蝕刻（RIE）的基礎上，添加電感耦合電漿的。感應耦合電漿由磁場圍繞石英晶體管所提供。 · 高密度的電漿和低真空度增強了具有非等向 ...

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