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7 Plasma Basic 7 Plasma Basic

列出電漿(plasma)的三種主要成分. 列出電漿中的主要三種碰撞 ... 在大多數的電漿製程反應室, 游離率小於. 0.001%. ... 感應耦合電漿離子蝕刻系統包含非等向性.

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