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Chapter 7 電漿的基礎原理

說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 ... 平行板電極(電容耦合型). 電漿系統. 電漿. 射頻功率 ... 感應耦合原理圖. 射頻電流通過線圈. 射頻磁場. 感應電場 ...

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