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【學術亮點】藉由固相磊晶法製備準單晶氧化鋅鎵薄膜來提升深 ...

因此，使用快速熱退火之方法並藉由固相磊晶之過程來使氧化鋅鎵提升結晶程度。在基板溫度為400度下製作之氧化鋅鎵可得到無序之晶粒作為成核種子。

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