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博碩士論文90222025 詳細資訊 - 中大機構典藏

由於金屬有機化學氣相沈積法成長氮化鎵的溫度為1050℃，氮化鎵材料在離子佈植後的快速熱退火處理中，材料表面的氮會因為高於成長溫度的快速熱退火處理而裂解，使得氮化鎵 ...

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