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國立中山大學物理研究所碩士論文

2-2 快速熱退火原理( Rapid Thermal Annealing ) 【5】. 熱退火處理是一種在金屬冶煉上，應用極為廣泛的一種材料加工. 技術，其原理是利用熱能，將物體內產生內應力的 ...

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