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以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 - 國立交通 ...

RTA 的原理是利用紅外線光的能量，來使得非晶矽吸收能量，進而快. 速反應生長MILC。而在生長MILC 的過程中，藉由水冷跟氣冷來達成. 快速退火。我們可以看到當採用石英基板 ...

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