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快速热退火 Rapid thermal annealing(RTA) - 芯制造 ...

快速热退火 ( RTA) 是半导体加工工艺中的一种常规技术手段，一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构[1]。

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