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CN1292040A - 涂覆和退火大面积玻璃基底的方法 - Google

该预热和退火步骤可在相同热处理室内进行。然后,通过激光退火将前体层转变为多晶硅层。 ... 硅是导电材料，可快速加热并冷却而不使晶片破裂或者变形。

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