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快速加熱退火
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材料科學與工程學系 - 國立交通大學
但是以快速熱退火,使用紅外線瞬間加熱方式,. 做選擇性加熱,利用物質對紅外線有不同吸收率的特性,僅非晶矽區域. 吸收紅外線,進而成長成複晶矽而玻璃基板不吸收紅外線, ...
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