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工研院微波退火技術入圍全球百大科技獎

但新的「半導體微波退火」卻是直接以微波波長加熱晶圓的矽晶原子，讓原子吸收能量，這個方法可避免熱擴散效應，達到低溫退火的目標，且快速退火的時間僅為 ...

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