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後製程熱退火處理調變下之氮化銦鎵/氮化鎵多層量子井結構與 ...

3-3 快速熱退火(Rapid Thermal Annealing, RTA) ………………… 29. 3-4 光學量測………………………………………………………… 29 ... 子束等法使純金屬揮發，與碳化氫、氮氣等氣體作用，在加熱至.

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