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加熱製程 - Coggle

高溫化學氣相沉積. 3.退火. (1)乾氧氧化製程. (2)濕氧氧化製程. (3)高壓氧化製程. 快速加熱製程(RTP)系統. 1.快速加熱退火(RAT)系統. 2.快速加熱氧化(RTO).

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