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微机电系统制造技术---中国科学院上海 ...

我所的微机电系统制造技术以专利技术为核心，形成了4套MEMS制造工艺组合，建立了国内唯一一家集芯片制造和封装与一体的MEMS制造技术平台，发明的多层三维微机械结构 ...

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