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微機電系統簡介

微機械製造（Micromachining）技術是利用半導體的製程來製造微小的懸臂樑、薄板、齒輪、閥門等機械元件，這些元件的尺寸甚至可小於微米（百萬分之一公尺）。因此該技術可被 ...

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