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國立中山大學101學年度第2學期CMOS微系統技術與應用課程 ...

本課程主要介紹MEMS元件與CMOS電路構成之CMOS-MEMS異質接合平台技術。並讓學生了解CMOS- MEMS的製程技術、材料特性及系統整合技術。課程中並介紹數種CMOS-MEMS技術應用 ...

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