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微系統技術
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MEMS與IC產業屬性不同台MEMS產業供應鏈發展太分散
工業技術研究院(ITRI)微系統科技中心副主任朱俊勳指出,MEMS(微機電系統)雖然有大部分生產設備可與晶圓廠(目前以6吋和8吋廠為主)共通使用,但有別於 ...
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