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微機電系統(MEMS)

微機電系統（簡稱MEMS）器件（包括加速度計、陀螺儀和麥克風）的使用範圍不斷擴大， ... 經過生產驗證的平台，開發新的200mm功能，以迎接MEMS市場龐大需求與技術挑戰。

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