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微系統技術
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超越摩爾的微機電系統技術!將感測器與致動器微型化| ...
微機電系統(MEMS) 是人類邁向智能未來與探索微觀世界不可或缺的重要科技。 ... 電子或機械功能的元件或系統進行適當整合,並使之微小化的先進技術。
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