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微系統技術
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微機電系統之技術與應用
本次參加94年度台德技術合作計畫,赴德國研習「微機電系統之技術與應用」 ... 微機電是指在微米尺寸,亦即十的負六次方尺度下之製程技術所製造出的迷你機電元件。
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