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微機電系統

微機電系統(MEMS)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智慧型系統，主要由感測順、作動器（執行器）和微能源三大部分組成。MEMS技術的出現開闢 ...

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