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离子源Ion Source: 最新的百科全书

离子可以在感应耦合等离子体中产生，等离子体源由电磁感应激励，电流由时变磁场产生。 = 微波诱导等离子体= 微波诱导等离子体离子源可以激发无电极气体放电，产生用 ...

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