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微步進馬達原理
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表面聲波微步進馬達的特性量測__臺灣博碩士論文知識加值系統
本研究主要探討表面聲波元件應用於奈米尺度的步進致動原理及技術。利用半導體製程技術在Y+128度切面之鈮酸鋰基材上製作交指叉換能器,產生10 MHz高頻的X-波傳表面聲波 ...
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