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微機電系統技術與應用pdf
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2017年MEMS(微机电系统)市场调研分析报告
图表1:各MEMS 器件所处的应用阶段(红色=传感器、蓝色=执行器、紫色=微能源) . ... MEMS(微机电系统)是在半导体制造技术基础上发展起来,是微电路和微机械按.
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