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微機電系統技術與應用pdf
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微機電系統技術與應用(上、下冊)(平裝本) - 博客來
內容簡介. 本書邀集了微機電技術領域近百位專家學者共同執筆撰寫。全書共十四章、一千三百餘頁,從基礎微加工製程開始,詳述矽基與非矽基微加工製程技術,並探討微機電 ...
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