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微機電系統技術與應用pdf
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http://ir.lib.isu.edu.tw/retrieve/88735/etd-0727111-112700.pdf
微機電系統靜電接觸耦合分析之研究 - isu.edu.tw
應用 多重物理領域相結合的技術,且其通常具有複雜3D結構,模擬所需技術相對困難,. 因此,為了高效率地進行MEMS 設計,需要進一步發展耦合分析的模擬技術。 很多研究已探討 ...
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