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微機電系統技術與應用pdf
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微奈米系統設計(Micro/Nano System Design)
課程綱要:. 本課程主要介紹微機電系統(MEMS)於工程科技之應用,及其原理與製. 程技術。內容包括微感測器、微致動器、微系統設計及封裝、微熱流系. 統、微元件與微裝置 ...
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