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微機電系統技術與應用pdf
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https://grd.bit.edu.cn/docs/20180103080206602405.pdf
课程名称:微机电系统及应用
一、课程编码:0400043. 课内学时: 48 学分:3. 二、适用学科专业:仪器科学与技术,光学工程,物理电子学、机械电子工程. 三、先修课程:物理学,光电传感器技术, ...
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