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微機電系統技術與應用pdf
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微机电系统的发展及其应用 - CORE
在此基础上,论述了MEMS 技术目前存在的问题和未来发展的趋势. 关键词: 微机电系统; 基础研究; 微加工技术;微型传感器;现状及展望. 中图分类号: TN305.
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