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「奈米技術平台建構與生物晶片技術整合應用」分項計劃4 (一 ...

未來微奈米機電系統在. 邁入真正的動態系統過程中，如何發展高強度的IC 薄膜材料，或是結合超精密顯示出. 機械加工技術與IC 製程技術，開發能夠承受適當機械力的微奈米機電 ...

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