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微機電系統技術與應用pdf
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微機電系統- 維基百科,自由的百科全書
MEMS技術與分子奈米技術或分子電子學的區別在於後者還必須考慮表面化學。 微機電系統的實現得力於用來製造電子裝置的半導體加工技術,並加以改造,使微機電系統可以應用到 ...
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