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微機電系統技術與應用pdf
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微機電系統
微機電系統技術 ,為跨電子、機械、材料、光電等專業領域,. 產品應用廣泛,如軍事航太、生物醫學、光纖通訊、乃至工業用. 與消費用之各式檢測、控制器等。
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