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當年度經費： 45432 千元

國立高雄應用科技大學機械工程系(7); 國立臺灣大學機械工程學系(6); 財團法人工業技術 ... 具體而言，本計畫將發展微機電系統與金氧半導體相容的製程技術，利用深活性離子 ...

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