微機電系統 · 微型化 MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,回響時間短。 · 批量生產. MEMS採用類似積體電路(IC)的生產工藝和加工過程,用矽微加工工藝在一 ...
確定! 回上一頁