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一手掌控的未來革命微機電系統的發展與應用 - 科學月刊

微機電系統 最大的優點在於它的製程與半導體製程相容，可以將前述元件整合在單一矽晶片上，達到微小化的目的；目前已經可以製作尺寸小於100 nm（奈米）的元件了，因此也有 ...

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