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微機電元件(Gardner) - 滄海書局

微機電系統 是基於整合微電子電路(IC)與機械、光學、生化、高頻、流體等跨領域的系統技術(SoC)，其可能包含致動器、感測器、訊號處理電路等諸多功能於一體，而成為智慧元件( ...

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