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MEMS技術的應用前景與面臨的痛點 - 壹讀

MEMS系統 與一般的機械系統相比，不僅體積縮小，而且在力學原理和運動學原理，材料特性、加工、測量和控制等方面都將發生變化。在MEMS系統中，所有的 ...

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